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高精密平坦化研磨拋光技術
ES50B單面銅盤拋光機
所屬分類： 單面研磨/拋光機
設備參數
單面研磨/拋光機
名 稱
ES50B單面銅盤拋光機
機械尺寸
長2450㎜×寬1721㎜×高2900㎜
機械重量
7500KG
參數表
設備參數
| 50B單面銅盤拋光機 | ||||
定盤直徑 | Φ1240xΦ350x T13mm （鋁基座33mm） | |||
| 壓力板直徑 | Φ485mm | |||
| 機器尺寸 | 3350x 1721 x 2900mm | |||
| 機器重量 | 8000KG | |||
| 電源 | 380V/50Hz | |||
| 馬達功率 | 22KW | |||
| 定盤回轉數 | 0-90RPM/Min | |||
其他參數
機器重量 | 8000KG | 驅動電機 | ●0.4KWx4 1.6KW PP頭驅動電機 ●22KW下定盤驅動電機 |
| 電源 | 380V/50Hz | 定盤回轉數 | ●0~90RPM |
| P.P 回轉數 | 0~ 80 RPM | P.P 最大壓力 | ●300KG |
| 氣源壓力 | 0.6MPa | ||
| 單次加工數量 | ●4"片 單P.P 10片 4P.P 40片 ●6"片 單P.P 6片 4P.P 24片 ●8"片 單P.P 3片 4P.P 12片 | 使用環境 | 15~ 35° C ●濕度: 85%以下,污水凝結; ●空氣質量:無腐蝕性.無可燃性、有害性氣體、無污染物、灰塵等等 |
產品特性
氣缸多種選擇可適應不同加工工件工藝需求
特制低摩擦氣缸,非一般市場售品氣缸，缸徑粗壯， 克服氣缸軸的偏擺;適合大壓力長時間加工的工件(如藍寶石,碳化硅)
也可以選擇使用進口品牌氣缸,摩擦系數佳, 可實現P.P盤緩慢輕壓落盤,滿足加工脆薄工件的需求
多段壓控制，壓力控制更精準更穩定, 保證無法承受高壓力的工件也能順利加工
P.P盤自動定位機構,方便人員上下料
4個P.P盤獨立控制可四軸同時加工也可單個P.P獨立加工
4個P.P盤變頻電機強制驅動，P.P轉速可調
4個P.P盤可以于兩側分別單獨操作,也可以在觸摸屏中集中操作
4個P.P盤分別有獨立穩壓系統
4個P.P盤可以實現“快下降、緩下降、緩上升快上升”
P.P著盤壓力可控,保證無法承受高壓力晶片的加工
