產品中心
高精密平坦化研磨拋光技術
ES32B/36B單面拋光機
所屬分類： 單面研磨/拋光機
設備參數
單面研磨/拋光機
名 稱
ES32B/36B單面拋光機
機械尺寸
長1484㎜×寬1250㎜×高2054㎜
機械重量
2600KG
參數表
設備參數
| 32B | 36B | |||
定盤直徑 | 812.8 | 定盤直徑 | 914 | |
| 壓力板直徑 | 304.8 | 壓力板直徑 | 360 | |
| 機器尺寸 | 1484 x 1250 x 2054 | 機器尺寸 | 1484x 1250 x 2054 | |
| 機器重量 | 2300KG | 機器重量 | 2600KG | |
| 電源 | 380V/50Hz | 電源 | 380V/50Hz | |
| 馬達功率 | 7.5KW | 馬達功率 | 7.5KW | |
| 定盤回轉數 | 0-87RPM/Min | 定盤回轉數 | 0-87RPM/Min | |
其他參數
機器重量 | 32B 2300KG ●36B 2600KG | 驅動電機 | ●0.2KWx4 0.8KW PP頭驅動電機 ●7.5KW下定盤驅動電機 |
| 電源 | 380V/50Hz | 定盤回轉數 | ●0~87RPM |
| P.P 回轉數 | 0~ 70 RPM | P.P 最大壓力 | ●300KG |
| 氣源壓力 | 0.6MPa | 水源壓力 | ●0.8KG |
| 單次加工數量 | 32B ●2"片 單P.P 20片 4P.P 80片 ●4"片 單 P.P 5片 4P.P 20片 36B ●2"片 單P.P 25片 4P.P 100片 ●4"片 單P.P 7片 4P.P 28片 ●6"片 單P.P 3片 4P.P 12片 | 使用環境 | 15~ 35° C ●濕度: 85%以下,污水凝結; ●空氣質量:無腐蝕性.無可燃性、有害性氣體、無污染物、灰塵等等 |
產品特性
4個P.P盤獨立控制可四軸同時加工也可單個P.P獨立加工
P.P單頭壓力可達300Kg(可擴展),壓力可在觸摸屏中監控和調整
特制低摩擦空壓氣缸非市售-般氣缸, 氣缸軸粗壯避免偏擺
定盤帶有自動水冷機構，防止加工物和定盤發熱,通過恒溫冷水的流動實現定盤溫度的恒定,并可通過紅外溫度傳感器在觸摸屏中監控。
4個P.P盤變頻電機強制驅動, P.P轉速可調
4個P.P盤可以于兩側分別單獨操作,也可以在觸摸屏中集中操作
4個P.P盤分別有獨立穩壓系統
4個P.P盤可以實現“快下降、緩下降、緩上升、快上升”
P.P著盤壓力可控,保證無法承受高壓力晶片的加工
